第555章 EUV光刻机?震惊众人!(1 / 2)

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一位专家瞬间认出了眼前这台光刻机的来历。

一时之间,他没有注意旁边还有其他人,就惊叫了出来。

说完这句话,这位教授立马走向眼前这台光刻机。

而在一旁,其他人也听见了这位教授的声音。

顺着声音,他们就见教授二话没有说就一个人走了出去。

其他几位教授注意到了,也跟着往前走去。

陈敏长官和孟旭互相看了眼,然后又看了眼孙坚。

只见孙坚伸出手,摆出请的手势。

三个人也跟着几位教授,来到了这台光刻机前。

“孟旭,刚才那位教授说的是EUV光刻机对吧?”

陈敏长官有些不确定自己听见的是否是这样的,所以向孟旭询问道。

孟旭听后点点头,他确定刚才教授说的是EUV光刻机。

陈敏听后,倒吸了一口凉气。

要知道,ASmL最初的EUV光刻机是2010年推出的twINScAN NxE:3100。

当时该机型主要用于研发,其制程可实现14纳米及以下制程。

这款光刻机数值孔径为0.25,光源功率较弱,最佳状态时只能输出10瓦。

后续ASmL推出的EUV光刻机在制程能力等方面不断提升,如NxE:3400b系列可对应7纳米制程。

如果星海科技制造出来了EUV光刻机,就意味着星海科技的这台光刻机,性能最差也可以做到14纳米制程。

仅仅是这个光刻机,如果真的如教授说的,那就意味着星海科技真的解决了他们国家卡脖子的问题了。

陈敏在一旁等待着,想听听几个教授的意见。

这个时候还是不能高兴太早,不然容易乐极生悲。

孙坚笑着看着眼前的一幕,丝毫不在意几位教授对着眼前的光刻机进行研究。

就在这个时候,首先发现EUV光刻机的那位教授说话了。

“奇了怪了,这台光刻机各项功能看着就是EUV光刻机。”

“但是他的很多功能却是EUV光刻机都没有的,光刻机的架构也更加巧妙。”

这位教授说的话,其他几个人都非常清楚的听见了。

就在这个时候,这位教授好奇地看向孙坚:“孙总,这台光刻机的制程是多少?到底是不是EUV光刻机?”

听见这位教授询问的,其他人也一脸好奇地看向孙坚,想要从孙坚的口中听见结论。

陈敏没想到,眼前的几位教授都看不出来这台光刻机的来历。

要知道,眼前这几位教授,已经是国内顶尖的专家了。

他们虽然没有见过EUV光刻机,但是对于EUV光刻机还是知道一些情况的。

只是他们都没有办法搞清楚眼前这台光刻机的情况,现场也就只有孙坚可以解释一下这台光刻机的各项性能了。

孙坚见大家一脸期待地看向他,笑着介绍道:“这台光刻机就是我们星海科技最新研发的EUV光刻机。”

“这台光刻机的制程达到了5纳米的水平,已经赶上目前世界上最先进的EUV光刻机了。”

听见孙坚的话清楚的从耳边传出,众人还是有些不相信。

所以当孙坚说完这句话之后,在场的众人好几分钟没有说话。

他们一直在消化孙坚话中的内容,反复思考这个难以置信的信息。

而且孙坚说出来的时候没有思考和犹豫,表现的非常云淡风轻。

好像在孙坚的眼中,眼前的这台光刻机就像是一台非常普通、可有可无的普通机器一样。

这样一来,就让他们更加难

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